打扑克牌剧烈运动❌的视频㊙️BROOKS 質量流量控制器 GP200系列 - 流量計

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BROOKS 質量(liàng)流量控制器 GP200系列(lie)簡介
所有的表現(xian)。沒有任何限制。
GP200 系(xì)列是第一款完全(quán)不敏感的基于壓(ya)力的質量流量⛹🏻‍♀️控(kòng)制器⛷️ (P-MFC)，專為半導體(ti)制造中的先進蝕(shí)刻和沉積工藝而(ér)設計。
GP200 系列 P-MFC 采用技(jì)術架構，克服了傳(chuan)統 P-MFC 的局限性，即使(shi)在輸👣送低蒸氣壓(yā)工藝氣體時也能(neng)提供最精确的工(gong)藝氣體輸🤩送。它包(bao)括幾個獨特的設(shè)計方面，包括與下(xia)遊閥門架構💜相結(jie)合的集成壓差傳(chuan)感器，可在行業中(zhōng)最廣泛的操作條(tiao)件下實現最精确(què)的工藝氣體輸送(sòng)。
由于 GP200 系列支持如(rú)此廣泛的工藝條(tiao)件，它可以用作許(xǔ)多傳統 P-MFC 和熱 MFC 的直(zhí)接替代和升級。它(tā)降低了氣體輸送(sòng)系統的複雜性和(he)擁有成本，因為它(ta)消除了對壓力調(diao)💋節器和傳感器等(děng)組件🤞的需求。

特征(zheng)
真正的差壓測量(liang)
降低入口壓力運(yùn)行
下遊閥門結構(gou)
匹配的瞬态響應(yīng)
零洩漏控制閥
MultiFlo TM技(ji)術提供了無與倫(lun)比的靈活性——一個(ge)設備可以針對數(shu)千種不⛹🏻‍♀️同的氣體(ti)和流量範圍配置(zhì)進行編程，而無需(xū)從氣體🏒管線⛱️中移(yi)除 MFC 或影響精度
本(běn)地顯示顯示流量(liang)、溫度、壓力和網絡(luo)地址
DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和模拟接口(kou)
好處
通過消除匹(pi)配和補償兩個獨(dú)立壓力傳感器的(de)要求，GP200 差壓技術降(jiàng)低了測量不确定(dìng)性，從而提高了準(zhǔn)确性、可重複性和(hé)漂🏃移性能。
由于專(zhuān)為低壓差測量而(ér)優化的 GP200 差壓傳感(gan)器，現在使用 P-MFC 可以(yi)在較低的入口壓(yā)力下實現更安全(quán)的晶圓廠操作。
下(xià)遊閥門結構确保(bao)精度獨立于下遊(you)壓力，使流量輸送(sòng)到高❓達 1200 Torr 的壓力。快(kuai)速關閉閥門解決(jué)了上遊 MFC 閥門設計(ji)中出現的非生産(chan)📞性配方等待時間(jiān)或“尾部🏃🏻‍♂️效應”，這些(xiē)閥門需要額外的(de)時間來排出其内(nèi)部氣體體積。
超快(kuai)、高度可重複的上(shàng)升和下降流動穩(wen)定時間可在先進(jin)的高循環沉積和(hé)蝕刻工藝中實現(xian)更嚴格的工藝控(kòng)🌈制。
閥門關閉性能(néng)提高 100 倍
使用 MultiFlo TM，MFC 滿量(liang)程流量範圍通常(chang)可以按 3:1 的系數重(zhòng)新按比例縮小，而(er)不會影響精度、量(liàng)程比或規格洩漏(lòu)，以💃🏻實現最佳工藝(yì)和庫✔️存靈活性
方(fāng)便的用戶顯示和(he)獨立的診斷/服務(wu)端口有助于設備(bèi)安裝、監控和故障(zhàng)排除
主要應用
半(ban)導體制造
蝕刻
化(huà)學氣相沉積 (CVD)
需要(yào)高純度全金屬流(liú)路的氣流控制應(ying)用

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